New-Tech Magazine | Dec 2020 | Digital Edition

למוצר בקרת 1928 המסעמהודו: כיצד הפכהטכנולוגיהמשנת תהליכי ייצור בדורותהמתקדמים ביותרשלשבבי המחשב

ד"ר גלעד ברק, דירקטור טכנולוגיות חדשות, ונועה שנער רון, דירקטור שיווק נובה.

שהשיקה חברת Nova ELIPSON™ נובה היא המערכת הראשונה בעולם הפועלת באמצעות טכנולוגיית רמאן שנכנסת למפעלי יצור שבבים חברת נובה, העוסקת בפיתוח וייצור פתרונות מטרולוגיה לבקרת תהליכי ייצור בתעשיית המוליכים למחצה, השיקה לאחרונה מוצר , למדידת תכונות Nova ELIPSON™ חדש, חומרים שהביא לשוק הסמיקונדקטור יכולות שלא היו אפשריות עד היום. מאחורי המוצר 90 עומדת טכנולוגיה שגילויה, לפני למעלה מ- שנה, זיכה את צ'נדרסקרה ונקטה רמאן בפרס נובל. אז מה בעצם עושה טכנולוגיה משנות העשרים של המאה הקודמת במוצר מהפכני שזה עתה הושק? איך לוקחים טכנולוגיה שחיה במעבדות בלבד והופכים אותה לחלק מתהליך ייצור המוני בתעשיית השבבים ולמה מדובר במוצר כל כך ייחודי? כדי לענות על השאלות הללו, צריך קודם כל להבין את המכניזם הבסיסי של האבולוציה של שבבי המחשב. הדינמיקה של תעשיית המוליכים למחצה מחייבת שיפורי ביצועים משמעותיים בכל דור חדש של טכנולוגיה שמוצג לשוק. חוק מור, שהכתיב מזעור מימדים ושינוי

נכנסה לשימוש במגוון רחב של שימושי מחקר ודיאגנוסטיקה. תגליות טכנולוגיות מקבילות, לנגישה RS ובמיוחד הלייזר, הפכו את ה- ושימושית אפילו יותר למגוון תחומי מחקר ואקדמיה כמו מדעי החיים, גיאולוגיה ומדעי לסוג של RS החומר. בשנים האחרונות זכתה ה- רנסנס מדעי, הנובע מהזמינות ההולכת וגדלה של מקורות לייזר העומדים בדרישות היציבות ורוחב הפס המחמירות של הטכנולוגיה, שיפורים בטכנולוגיות ספקטרומטריה, פילטרים וגלאים מתקדמים ברמת אמינות גבוהה ועוד. חשובה מכל היא העובדה הפכו RS שהרכיבים הקריטיים ליישום ה- זמינים הרבה יותר, מה שהוביל לשילובה של הטכנולוגיה במגוון יישומים תעשייתיים. כיום, בתעשיות RS תוכלו למצוא את טכנולוגיית הפטרוכימיות, תעשיית התרופות ואפילו בתהליכי זיהוי פלילי. ועם זאת, בשל הדרישות הגבוהות במיוחד לדיוק, יציבות ואמינות במטרולוגיה המיושמת בתעשיית המוליכים למחצה, לא זכתה הטכנולוגיה לאימוץ משמעותי במפעלי השבבים וזאת למרות שיש לה יכולת ייחודית לזהות תכונות חומרים. רק לאחרונה הצליחה נובה לפתח את השיפורים הנדרשים בחומרה ובאלגוריתמיקה ולמצוא

הארכיטקטורה במשך שנים ארוכות, החל להראות סימני כניעה למגבלות חוקי הפיסיקה, ויצר תחושת איום בתעשייה. לאן מתקדמים כשאי אפשר למזער יותר? אלא שמתוך האיום, נולדה הזדמנות לפרץ של חדשנות שכלל תכנון מגוון של השבבים, פניה לתלת-מימד, הכלת עקרונות פעולה ומנגנונים פיסיקליים חדשניים והתאמת התכנון של כל טרנזיסטור למטרה הספציפית שלשמה נוצר. כך נכנס לתמונה גם שימוש מגוון ביותר בחומרים, תרכובות וסגסוגות, כתוספת אפקטיבית להשגת שיפורים מהותיים בביצועי השבבים. בהתקנים מתקדמים מבוצעת שליטה מכוונת בתכונות חומרים אלו. טרנזיסטורים נבנים עם לחץ מובנה שחיוני לתפקודם, התקני זכרון מתבססים על פאזות החומרים ועל המאפיינים המדויקים של המעברים בין פאזות אלו, שליטה עדינה בריכוז החומרים בחומרים מבודדים ובסגסוגות שמשפיע על התכונות החשמליות ועוד. כל החידושים הללו מחייבים בתורם, גם יכולות בקרת תהליכי יצור תואמות ובכלל זה, פתרונות מטרולוגיה המאפשרים יכולות מדידת חומרים מתקדמות. , ספקטרוסקופיית רמאן 1928 מאז גילויה ב- בקיצור) RS - או Raman Spectroscopy (

New-Tech Magazine l 32