New-Tech Magazine | Nov 2019

AI מוסף מיוחד

OVL ספספיקציות אופינייות של מכונות :1 תמונה «

התוצאה המדויקת ביותר בזמן הקצר ביותר, יכולת המושפעת מהרכב החומרים שממנו פרוסת הסיליקון נבנתה וממספר השכבות המיוצרות. בנוסף, נדרש המנוע לאתר את אופי השגיאות שהמכונה מייצרת, על מנת שהיא תוכל לבטל אותן. אלא שהמנוע לומד את השגיאות שמכניסה המכונה אפילו מבלי להבין את מהותן. הוא לומד את הדפוס שלהן ובאמצעות אלגוריתמים חזקים מצליח לבודד את הטעות מן המדידה עצמה. כך, ניתן כבר היום לצמצם את הטעות לרמה של ארמסטרונגים בודדים, ולהתקרב לאידאל של אפס טעויות. האתגר המרכזי - בידוד הטעות שמכשיר המדידה עצמו מכניס למדידה – מייצר AI אתגרי משנה. עם כל היתרונות של ה- כמהנדס אתה מוצא את עצמך בסופו של יום מול קופסא שחורה. האלגוריתם לומד לתקן את כל הטעויות והתפקיד של

והיא מכניסה שגיאות בעלות דפוסים קבועים למדידה - אם נלמד את העיוותים האלה נוכל גם לבטל אותם. טכנולוגיה מבוססת לימוד מכונה נבחרה כמתאימה ביותר להתמודדות עם הכיוון החדש, אולם כדי להגיע לביצועים גבוהים הבנו כי ראשית יש צורך בבניית בסיס נתונים גדול שיהווה כר למידה מקיף עבור (בינה AI האלגוריתם, עליו מבוסס מנוע מלאכותית). המנגנון החכם חייב לאסוף נתונים וללמוד אותם, בשעה שהמכונה אולם יש צורך fab עובדת. הדאטהקיימת ב- כי כל מכונה תאמץ את מנגנון הלמידה תוך התחשבות בסוגי האתגרים שכל פרוסת ) מכניסה למכונה. Wafer סיליקון ( כך המנוע שפיתחנו עורך תהליך למידה של קו הייצור באמצעות ביצוע מדידות מקיפות של פרוסות הסיליקון הראשונות. הלמידה מתאפשרת בזכות אלגוריתמי למידה שונים. המנוע לומד את המכונה עצמה ואת האינטראקציה שלה עם פרוסות הסיליקון השונות (המבנים המודפסים על הפרוסות). בזמן הלימוד סורקים את פרוסת הסיליקון במספר תנאים, ובשילוב מקבלים את תמונת OVL עם מדידות ה- המצב המדויקת. מתאפיינים במהירות אדירה AI מנועי ה- והם רואים עשרות אלפי נקודות מדידה שונות במשך שעה אחת, כך שקצב הלמידה של המכונה לאיסוף ולימוד דאטה הוא פנומנלי. תוך מספר דקות ניתן לבנות מרכז נתונים אשר מאפשר למנוע להתחיל לעבוד, ומשם הוא רק הולך ומשתפר. במקביל מכוונים את מערכת לימוד המכונה כדי שתאתר את התנאים המתאימים ביותר, אלו הנותנים לנו את

KLA מערכת של :2 תמונה

«

Archer ממשפחת

המהנדס מצטמצם. אולם השיקול האנושי חיוני כדי לקבל החלטה מתי לעצור את האלגוריתם ולבצע תיקוני חומרה נוספים, כיולים וכו'. יש חשיבות גבוהה לבניית הפלואו והשילוב בין האינפוט של המהנדס . AI לביצועים של מנוע ה-

ארמסטרונג בודד שווה מאות דולרים

יש המון ביקורת וחשש בשוק, לקוחות . AI בהחלט חוששים להסתמך על מנועי אולם מצד שני גם הם מבינים כי כל ארמסטרונג של שיפור בביצועים שווה

גדלים אופייניים בטבע והמקבילה בעולם המטרולוגיה :3 תמונה «

New-Tech Magazine l 56