ניו-טק מגזין | יולי 2020 | המהדורה הדיגיטלית

.pMUT ו־ cMUT עקרון הפעולה של טכנולוגיות :3 איור «

pMUT בקלות את מערך המתמרים מסוג עם יתר הרכיבים האלקטרונים באמצעות ) או בטכנולוגיית Wire Bonding תיילים ( , ליצירת שבב Through - silicon via אחד. תהליך הייצור הוותיק והמוכח עם מתמרים מסוג Si - CMOS בטכנולוגיית המבוססים על סיליקון, אפשר pMUT קטנים, pMUT לייצר מערכים של מתמרי יעילים ועם רזולוציה וביצועים גבוהים. הסופי הוא בדרך pMUT גודלו של מתמר ה־ סמ"ר. 2 x 2 כלל ובשותפות עם imec זאת הגישה שבה נקטה יצרנית שבבים פיתחה פלטפורמה גנרית עבור טכנולוגיית pMUT של מתמרים מסוג , שבה החומר הפיאזואלקטרי Si - CMOS הרוטט הוא אלומיניום ניטריד (בתוספת סקנדיום). הודות לשימוש בחומר הזה, התדירות של הגלים האולטרה־סונים . כדי 15 MHz עד 3 MHz הנפלטים היא

על הפרק עומדות שתי משפחות של מתמרים אולטרה־סוניים זעירים: מתמר אולטרה־סוני פיאזואלקטרי זעיר (להלן, ) שהוא גרסה מוקטנת של המתמר pMUT הפיאזואלקטרי המסורתי; ומתמר .) cMUT אולטרה־סוני זעיר קיבולי (להלן, ) cMUT במתמר אולטארסוני זעיר קיבולי ( מרעידים כוחות אלקטרוסטטיים קרום שהוא חלק מקבל של לוחות מקבילים. הפלטפורמות הטכנולוגיות שעליהן מבוססים מתמרים ) MUT אולטרה־סונים זעירים ( מפתחת פלטפורמות טכנולוגיות imec למתמרים אולטרה־סונים זעירים, תוך ניצול הניסיון המוכח שלה בפיתוח מערכות (מיקרו־אלקטרו־מכניות). בעבר, MEMS תשומת הלב התמקדה בפיתוח טכנולוגיות עבור טכנולוגיית cMUT מתמרים מסוג והיא הניבה פלטפורמה עתירת CMOS . cMUT ביצועים של מתמרים בטכנולוגיית בטכנולוגיות imec כיום מתמקד הפיתוח ב־ גנריות, שאותן אפשר להתאים pMUT לשימושי משוב משיש. מאמצי המחקר והפיתוח מתמקדים בשתי פלטפורמות : הראשונה עבור pMUT של מתמרים מסוג והשנייה עבור ייצור Si - CMOS טכנולוגיית צגים. לכל אחת מהפלטפורמות יתרונות, חסרונות ואתגרים משלה.

שהפלטפורמה הגנרית תוכל לשמש בשימושי משוב משיש, מתאימות אותה ויצרנית השבבים שאיתה היא עובדת imec 200 kHz לתדירויות נמוכות יותר בטווח , על ידי שימוש בקרומים 600 kHz עד מ"מ) 1.5 עד 0.8 גדולים יותר (קוטר של ועם יחס ממדים גדול יותר. פלטפורמה גנרית פירושה שאפשר להתאים את תהליך לשימושים pMUT ייצור המתמרים מסוג מוגדרים לפי מפרט ואפשר לייצר אותה בכמויות גדולות או קטנות. הפלטפורמות הטכנולוגיות שעליהן מבוססים מתמרים לצגים pMUT מסוג pMUT משפחה נוספת של מתמרים מסוג עשויים פולימר, pMUT מורכבת ממתמרי שמיועדים לבניית מערכים גדולים לשימוש

pMUT מתמרים מסוג Si-CMOS לטכנולוגיית

אפשר לבצע את pMUT במתמרים מסוג עיבוד האותות ישירות מעל למעגל משולב . היתרון העיקרי Si - CMOS בטכנולוגיית של הגישה הזאת הוא היכולת להטמיע

.pMUT תמונת מיקרוסקופ של מערך מתמרים מסוג :4 איור «

New-Tech Magazine l 30