ניו-טק מגזין | מרץ 2022 | מהדורה דיגיטלית

– החלקה: הפיאזו חוזר 3 מצב « במהירות גבוהה למקומו הראשוני ללא החזרת שולחן ההנעה.

– תנועה: תזוזה של הפיאזו 2 מצב « ומזיז את שולחן ההנעה. ∆ x מרחק של

– מנוחה: אין מתח על הפיאזו. 1 מצב

«

מדידת המיקום באמצעות פוטנציומטר במדידת המיקום באמצעות פוטנציומטר ) והוא μm ניתן לקבל דיוק של מיקרון ( מתאים לעבודה בטמפרטורות נמוכות במיוחד. מדידת המיקום באמצעות אנקודר אופטי השימוש באנקוד אופטי עם סקאלה מזכוכית מאפשר רזולוציית מיקום של ננומטר. הוא 50 ננומטר והדירות של 1 מתאים לעבודה גם תחת שדה מגנטי חזק, ועמיד בשינויי טמפרטורה, עקב 7 T עד פיזור תרמי מופחת. מדידת המיקום באמצעות אינטרפרומטר לדיוק הגבוה ביותר משתמשים בחיישן של IDS מיקום אינטרפרומטרי, סדרת פיקו- 1 . רזולוציית המדידה היא Attocube ננומטר, אפילו 2 ), הדירות של pm מטר! ( בטמפרטורות קריוגניות, בוואקום וכו'.

פולסים חשמליים לפיאזו: הגעה למיקום סופי מדויק :1 איור «

יתרונות וחסרונות

יתרונות: רזולוציה ודיוק גבוהים, סדרי גודל של ■ .) nm ננומטרים ( קומפקטיות. ■ הפרעות מגנטיות נמוכות מאד ביחס ■ לשיטות הנעה אחרות. עמידות לסביבה רועשת / מגנטית. ■ אפשרות לעבודה תחת ואקום. ■ 0 עמידות בטמפרטורות נמוכות עד ■ מעלות קלווין.

צריכת אנרגיה נמוכה. ■ עבודה בסביבה נקייה, בחדרים נקיים. ■ אפשרות לשמירה על מיקום ללא צורך ■ בהחזקת מתח. הנעה ישירה ללא תמסורת. ■ אפשרות לקביעת המיקום בצורה ידנית, ■ כאשר מתגברים על החיכוך. מתחי עבודה לא גבוהים: עשרות וולטים ■ בלבד.

אינטרפרומטר

אנקודר אופטי

פוטנציומטר

«

«

«

New-Tech Magazine l 52