ניו-טק מגזין | מרץ 2022 | מהדורה דיגיטלית

חסרונות: מגבלות העומס/משקל שניתן להניע, ■ ביחס למערכות הנעה אלקטרומגנטיות או הנעה באמצעות מנועי סטפר. מכיוון שעקרון הפעולה מבוסס על ■ חיכוך, ייתכן בלאי בנקודות החיכוך לאחר שימוש ממושך. מחזור הפעולה של הצעדים במערכות ■ מסוימות (שאינן אולטראסוניות) יוצר רעש (צפצוף) בתדר הפולסים. הרעש הזה יישמע אם המערכת פועלת בסביבה עם אוויר ולא בתנאי וואקום. מערכת הבקרה צריכה להיות מתוחכמת ■ ומדויקת ועליה לכלול מערכות הספק בתדר גבוה. דוגמאות ליישומים בתעשיית הסימקונדקטור: כיוון קרן לייזר ). אחד האתגרים הקשים, Beam Steering ( הוא להגיע לדיוק גבוה בכיוון המיקום והזווית של רכיבים אופטיים כגון פילטרים, עדשות ומראות. כל אלמנט צריך להתכוון בשש דרגות חופש. למשל, במכונות לבדיקת ) משתמשים DUV וויפרים באולטרה-סגול ( באקטואטורים פאיזואלקטריים ליניאריים ), באקטואטורים nm ברזולוציה של ננומטר ( סיבוביים וגוניומטרים ברזולוציה של מיקרו- ). בנוסף לדרישות דיוק אלו, µrad רדיאן ( המערכת נדרשת לעמוד בדרישות עמידות מכאנית לתדרי תהודה גבוהים ועבודת תחת .) UHV ואקום גבוה מאד ( מיקרוסקופים ומכשירי מדידה מדוייקים: אותו עקרון מיושם גם במערכות מיקרוסקופיות הדורשות כיוונים מדויקים. Electron - Beam למשל כיוון קרן אלקטרונים ( ), במיקרוסקופים אלקטרוניים Systems .) Transmission Electron Microscope - TEM ( בנוסף, במערכות של מיקרוסקופים מורכבים נדרשת הנעה מדויקת לחלק הנמדד/הנצפה. מערכות פיאזואלקטריות מתאימות למשימה זו. יישומים בחלל: למערכות בחלל, כגון לוויינים, נדרשת הנעה בדיוק גבוה ובתנאים של קרינה, טמפרטורה נמוכה וללא אוויר וכן עמידות להלמים ורעידות במהלך שיגורם לחלל. סיכום תעשיות הדורשות דיוקים בסדרי גודל של ננומטרים לרוב ימצאו שמערכות ההנעה הפיאזואלקטריות נותנות מענה לדרישותיהם. בתעשיות אלו, בדרך כלל תימצאנה דרישות

, גרמניה. Attocube אקטואטורים פיאזואלקטריים תוצרת «

מערכת לכיוון קרן לייזר המורכבת ממערכות הנעה פיאזואלקטריות « המניעות רכיבים אופטיים.

שולחן הנעה פיאזואלקטרי בשלושה צירים למיקרוסקופ. «

האם נדרשת עמידות לשדה מגנטי, האם העבודה בוואקום – אם כן - איזה ואקום, האם יש מגבלות גודל פיזי, האם יש דרישה לבקרה בחוג סגור או שנדרש מידע על המיקום האמיתי - באיזו רזולוציה/דיוק. כמובן קודם יש לקבוע איזו סוג תנועה נדרשת, מה טווח התנועה ובכמה צירים.

לעבודה בוואקום ובתנאים קריאוגניים, כלומר בטמפרטורות נמוכות מאד. מערכת הבקרה והממשק למנועי הפיאזו הן אינטואיטיביות, פשוטות לתפעול ולהבנה, אך מאחוריהן קיים אלגוריתם חזק שמאפשר את רמות הדיוק הכל כך גבוהות. בבחירת המוצר המתאים יש להתחשב בדרישות: טמפרטורת הסביבה,

53 l New-Tech Magazine