ניו-טק מגזין | אוקטובר 2025 | המהדורה הדיגיטלית

ספיחה סטטיים-דינמיים, הכנת מנות מימן לתא ואקום H 2 מקדימות והזרמה של הכולל גטר, תוך שמירה על לחץ גז קבוע H 2 . ע"י ניטור של ירידת לחץ ה- torr 8 של בתא המקדים המשמש למינון ניתן לקבוע את כמויות המימן הנספחות על ידי הגטר בזמן זה. עקומת הספיחה המדווחת באיור מציגה את כמויות המימן הנלכדות על 1 בטמפרטורת 125 μm בעובי HGC ידי שעות: ניתן לראות שפני 24 החדר במהלך של הגטר 1 cm 2 שטח פעילים חשופים של של cm 3× torr 1300 יכולים לספוח מעל מימן ביממה. כושר הספיחה הכולל של המימן המדוד על 300 μm ו- 125 μm של גטרים בעובי 1 cm 2 . כפי 1 בטמפרטורת החדר מדווח בטבלה שניתן לראות מהערכים בטבלה, כושר הספיחה הכולל פרופורציונלי לעובי הגטר. מצד שני, קינטיקת הספיחה היא פרופורציונלית לשטח הפנים של הגטר, לכן עדיפה כאשר HGC הגרסה העבה של ה- כמויות המימן אותן יש לספוח הן גדולות,

המהונדסים לספיחה סלקטיבית של מימן ממארזים אטומים באמצעות תהליכי ספיחה. מאמר זה יתאר את המאפיינים של גטרים אלה ויראה כיצד ניתן לבחור את מידות הגטר המבטיחות כושר ספיחה , המתאימים להתמודדות H 2 וקינטיקה של נמוכה H 2 עם יצירת גז ולשמירה על רמת ובטוחה לאורך חיי המוצר. . גטר מימן וספיחה 2 הוא פתרון יעיל לכל מארז HGC גטר ה- אטום הרמטית בו נדרשת ספיחת מימן כדי להבטיח יציבות ואמינות של ההתקן לאורך זמן. משפחת גטרים זו מבוססת על רצועות מתכתיות רב-שכבתיות, המתוכננות לספיחה סלקטיבית של מימן בתנאיי הסביבה, מבלי לחייב כל תהליך H 2 יכול לספוח HGC . ה- אקטיבציה בוואקום, בנוכחות אוויר, בחנקן או בגז אינרטי. ניתן להזמין גטר זה כרצועת מתכת חתוכה מראש למידות הנדרשות, או כיריעה צרובה הכוללת חתיכות מרובות בהתאם לתכנון הלקוח, אותן הלקוח יכול להסיר בקלות ולחבר למארז. : גרסה HGC פותחו שני עוביים של גטר , בה ניתן להשתמש 125 μm בעובי כולל של כאשר היישום דורש גטר דק להתקנה על התקנים בנפח קטן, וגרסה עבה יותר בעובי עם כושר ספיחה גבוה 300 μm כולל של יותר של מימן, לעומת הגטר הדק. אופיין ניסיונית באמצעות ניסויי HGC ה

ואילו בסוג הדק יותר בעל שטח הפנים הגדול יותר עדיף לשימוש אם פליטת הגזים הראשונית במערכת היא גבוהה במיוחד. נחקרו גם HGC ביצועי הספיחה של כפונקציה של טמפרטורת העבודה. בוצעו ניסויים ע"י מדידת כושר הספיחה של הגטר לא רק בטמפרטורת החדר, אלא גם . 105° C ו- 55° C , 85° C בטמפרטורות של ) יכול להתקבל על 105° C הערך הגבוה ( הגטר בתנאיי עבודה קשים של ההתקנים. המציג את עקומי 2 כפי שמתואר באיור הספיחה בטמפרטורות שונות, כאשר מגדילים את הטמפרטורה, הגטר יכול מהר H 2 לספוח כמויות גדולות יותר של יותר: למעשה, טמפרטורה גבוהה יותר מאפשרת דיפוזיה מהירה יותר של המימן לתוך חומר הגטר, תוך שיפור קינטיקת הספיחה. ההתנהגות המתוארת ותלות הספיחה בטמפרטורה הן מיטיבות לפעולה התקינה של הגטר במערכת. למעשה, כאשר פליטת הגז במערכת גדלה עקב העלייה

בטמפרטורת החדר HGC הכולל של גטרי H2 כושר ספיחת ה- :1 טבלה «

, מדודות בטמפרטורות שונות H2 עקומות ספיחה של :2 איור « )torr 8 בניסויים: H2 (לחץ ה-

HGC , המדודה על גטר H2 עקומת הספיחה של :1 איור

« של מימן torr 8 בטמפרטורת החדר ו 125μm בעובי

33 l New-Tech Magazine