ניו-טק מגזין | אוקטובר 2025 | המהדורה הדיגיטלית

בטמפרטורת העבודה, קינטיקת הספיחה הופכת מהירה יותר, והתוצאה היא שהגטר מתמודד טוב יותר עם העלייה בעומס הגז, ויכול למנוע הצטברות גז מזיק. . פליטת גז מימן 3 והתפתחות הלחץ בהתקני אטומים RF/MW בתוך מארזי ההתקן HGC שילוב של גטר הינו פתרון יעיל למניעת בעיות הקשורות ב- , אולם יש צורך בהערכה של מידות הגטר H 2 הנדרשות להתמודדות עם פליטת המימן. , המציג את 3 כפי שמתואר בגרף באיור בהתקן עם H 2 השינוי האפשרי ברמת ה- גטר ובלעדיו, אם כמות הגטר ומידותיו אינן H 2 מוגדרות כהלכה, הלחץ החלקי של ה- ממשיך לגדול במערכת מכיוון שקינטיקת הספיחה אינה מספיקה כדי להתמודד עם פליטת הגז הגבוהה מלכתחילה, וכושר הספיחה אינו מספיק כדי לספוח את המימן המצטבר בטווח הארוך. לעומת זאת, אם נבחרות היטב, הגטר HGC כמות ומידות ה- H 2 יכול לשמור על רמה נמוכה מאוד של במודול כבר במהלך הפעולה הראשונית. המקורות העיקריים למימן קשורים בהתפרקות של פולימרים ושרפים, אם נוכחים, או לפליטת גז מחומרים פנימיים. ניתן לצמצם את התרומה עקב התפרקות פולימרים למינימום באמצעות בחירת H 2 חומרים מתאימה, אולם פליטת ה- מהרכיבים הפנימיים היא תמיד ניכרת, אפילו לאחר תהליך סילוק גזים. לכן, על מנת להעריך את כמות המימן המתפתחת במהלך פעולת ההתקן, לרוב מביאים בחשבון את ערכי פליטת הגזים. ניתן לקבל נתונים אלה באמצעות ניסויי פליטת גזים ספציפיים או דרך ערכים טיפוסיים המדווחים בספרות הטכנית. ככלל, קשה להעריך את תרומת פליטת ה- של הרכיבים השונים והחומרים בתוך H 2 ההתקנים, אולם לרוב עדיף להביא בחשבון קצב פליטת גז ממוצע בטווח , בהתאם 1×10 -6 – 1×10 -8 torr.liter/s.cm 2 לחומרים ולטיפול סילוק הגזים אותו מיישמים. ע"י חישוב הכמויות הכוללות שעשויות להיפלט במערכת על סמך קצבי פליטה H 2 - ממוצעים, ניתן להבין שרמת ה עשויה להיות גבוהה מאוד אם המזהמים הנפלטים אינם נלכדים ע"י גטר. מוצגים תרחישים אפשריים 2 בטבלה

לאורך זמן בהתקן עם גטר ובלעדיו H2 השינוי ב :3 איור «

כפונקציה של קצב פליטת הגז וגודל הגטר H2 עומס ה- :2 טבלה « ) 125μm HGC( הנדרש המינימלי

שעלולים להתרחש בנפח מערכת קטן בו מוצג שנה כפונקציה 20 עומס הגז הכולל לאחר של קצבי פליטת הגז הראשונית השונים . 1×10 -8 – 2×10 -7 torr.liter/s.cm 2 בטווח סמ"ק, פני שטח של 20 בהנחה של מארז בנפח סמ"ר של הרכיבים הפנימיים ורמה זניחה 600 הראשוני, ניתן לחשב את עומס ה- H 2 של ה- שנה. הגודל המינימלי 20 הכולל לאחר H 2 כדי להתמודד עם HGC הנדרש של גטר מסוג .125 μm עומס הגז המחושב הוערך כ- כפי שניתן לראות מהטבלה, הודות , HGC לכושר הספיחה הגבוה של ה- מספר סנטימטרים רבועים של גטר עשויים להספיק כדי לספוח את כמויות המימן הנפלטות במודולים במקרה של קצבי פליטה ראשוניים בסביבת (אותם ניתן לקבל 1×10 -8 torr.liter/s.cm 2 בתהליך סילוק גזים מתאים). אולם, מומלץ לקחת בחשבון מקדם ביטחון בהגדרת מידות הגטר משתי סיבות: ראשית, פליטת הגזים עשויה להיות גבוהה

הרבה יותר אם ההתקן עובד בטמפרטורות גבוהות ביחס לטמפרטורת החדר המובאת בחשבון, ושנית יש להתחשב בקינטיקת ספיחה מספקת. למעשה, נדרש להשתמש בפני שטח גטר גדולים יחסית כדי לקבל קינטיקת ספיחה המתאימה להתמודדות עם פליטת גז ראשונית (בדרך-כלל קצב פליטת הגז גבוה יותר בפרק הזמן הראשוני ונוטה לקטון עם הזמן) ולמניעת הגידול בתחילת חיי המערכת. H 2 בריכוז ה- החדש נמצא בשימוש בצורה של HGC ה- רצועת מתכת: הוא יציב מכאנית, ללא סיכונים של חומר חלקיקי. ניתן לטפל בו RF באוויר ולשלבו בקלות במודולים של – ריתוך HGC . שיטות ההתקנה של MW או חשמלי, ריתוך בלייזר או הדבקה עם פליטת גז נמוכה, הופכים אותו לוורסטילי ביישום בשיטות ייצור שונות. . שילוב של גטרים 4 בהתקנים

New-Tech Magazine l 34